高機能集積化半導体圧力センサに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 高機能集積化半導体圧力センサに関する研究
• Title Transcription: コウキノウ シュウセキカ ハンドウタイ アツリョク センサ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 杉山進 [著]
• Author Heading: 杉山, 進 スギヤマ, ススム ( 001157238 )Authorities
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成6年5月31日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 乙第2631号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-T501
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000289025; http://id.ndl.go.jp/bib/000000289025
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景と目的

1.2 半導体圧力センサ研究の経緯