Quarter-micrometer aluminum interconnection technologies for ultra-large scale integrated circuits

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Quarter-micrometer aluminum interconnection technologies for ultra-large scale integrated circuits
• 著者・編者: 吉川公麿 [著]
• 著者標目: 吉川, 公麿 キッカワ, タカマロ
• 並列タイトル等: 超LSI用微細アルミニウム配線の高信頼化技術の研究 チョウLSIヨウ ビサイ アルミニウム ハイセン ノ コウシンライカ ギジュツ ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成6年5月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 乙第2632号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-T502
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000289026; http://id.ndl.go.jp/bib/000000289026
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

TABLE OF CONTENTS

Abstract

Acknowledgements

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