超高密度集積回路(ULSI)における電子線リソグラフィの高性能化に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 超高密度集積回路(ULSI)における電子線リソグラフィの高性能化に関する研究
• タイトルよみ: チョウコウミツド シュウセキ カイロ (ULSI) ニ オケル デンシセン リソグラフィ ノ コウセイノウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 岡崎信次 [著]
• 著者標目: 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ ( 00943837 )典拠
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成6年6月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 乙第2643号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-T513
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000289037; http://id.ndl.go.jp/bib/000000289037
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 リソグラフィの研究状況

1.2 電子線リソグラフィの位置付けと謀題