超高密度集積回路(ULSI)における電子線リソグラフィの高性能化に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 超高密度集積回路(ULSI)における電子線リソグラフィの高性能化に関する研究
• Title Transcription: チョウコウミツド シュウセキ カイロ (ULSI) ニ オケル デンシセン リソグラフィ ノ コウセイノウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 岡崎信次 [著]
• Author Heading: 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ ( 00943837 )Authorities
• Degree Grantor: 東京工業大学
• Date Granted: 平成6年6月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 乙第2643号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-T513
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000289037; http://id.ndl.go.jp/bib/000000289037
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 リソグラフィの研究状況

1.2 電子線リソグラフィの位置付けと謀題