DC-RFハイブリッド・プラズマ・スパッタリング法によるa軸配向YBa[2]Cu[3]O[7-δ]薄膜の作製と結晶性
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国立国会図書館デジタルコレクション
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論文目録
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第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 [化学式]の結晶構造と超伝導特性
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- DC-RF ハイブリッド プラズマ スパッタリングホウ ニ ヨル aジク ハイコウ YBa2Cu3O7-デルタ ハクマク ノ サクセイ ト ケッショウセイ
- 著者・編者
- 伊藤渉 [著]
- 著者標目
- 伊藤, 渉 イトウ, ワタル
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成7年2月28日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 乙第2719号
- 学位
- 博士 (理学)