DC-RFハイブリッド・プラズマ・スパッタリング法によるa軸配向YBa[2]Cu[3]O[7-δ]薄膜の作製と結晶性
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論文目録
目次
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 [化学式]の結晶構造と超伝導特性
p2
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- DC-RF ハイブリッド プラズマ スパッタリングホウ ニ ヨル aジク ハイコウ YBa2Cu3O7-デルタ ハクマク ノ サクセイ ト ケッショウセイ
- Author/Editor
- 伊藤渉 [著]
- Author Heading
- 伊藤, 渉 イトウ, ワタル
- Degree Grantor
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成7年2月28日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1995
- Dissertation Number
- 乙第2719号
- Degree Type
- 博士 (理学)