物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究
• タイトルよみ: ブツリテキ キソウ ジョウチャクホウ ニ オケル プラズマ トクセイ ト マク ブッセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 沖村邦雄 [著]
• 著者標目: 沖村, 邦雄 オキムラ, クニオ
• 授与機関名: 九州大学
• 授与年月日: 平成7年7月21日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1995
• 報告番号: 乙第6006号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-X577
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000291614; http://id.ndl.go.jp/bib/000000291614
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1 物理的気相蒸着法の種類と用途

1.2 物理的気相蒸着法の問題点およびプラズマ診断の現状と問題点

1.3 反応性スパッタリングによるTiO₂薄膜作成の現状と問題点