物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究
• Title Transcription: ブツリテキ キソウ ジョウチャクホウ ニ オケル プラズマ トクセイ ト マク ブッセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 沖村邦雄 [著]
• Author Heading: 沖村, 邦雄 オキムラ, クニオ
• Degree Grantor: 九州大学
• Date Granted: 平成7年7月21日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 乙第6006号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-X577
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000291614; http://id.ndl.go.jp/bib/000000291614
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 物理的気相蒸着法の種類と用途

1.2 物理的気相蒸着法の問題点およびプラズマ診断の現状と問題点

1.3 反応性スパッタリングによるTiO₂薄膜作成の現状と問題点