非吸着性ガスの真空排気過程測定装置の開発 : 超高純度窒素ガスと超高純度アルゴンガスの排気過程

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 非吸着性ガスの真空排気過程測定装置の開発 : 超高純度窒素ガスと超高純度アルゴンガスの排気過程
• タイトルよみ: ヒキュウチャクセイ ガス ノ シンクウ ハイキ カテイ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ : チョウコウジュンド チッソ ガス ト チョウコウジュンド アルゴン ガス ノ ハイキ カテイ
• 著者・編者: 三木正晴 [著]
• 著者標目: 三木, 正晴 ミキ, マサハル
• 授与機関名: 総合研究大学院大学
• 授与年月日: 平成6年9月20日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1994
• 報告番号: 甲第97号
• 学位: 博士 (学術)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-Y65
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000291729; http://id.ndl.go.jp/bib/000000291729
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1-1 緒言

1-2 本装置開発の背景

1-3 本装置開発の目的