非吸着性ガスの真空排気過程測定装置の開発 : 超高純度窒素ガスと超高純度アルゴンガスの排気過程

• Material Type: 博士論文
• Title: 非吸着性ガスの真空排気過程測定装置の開発 : 超高純度窒素ガスと超高純度アルゴンガスの排気過程
• Title Transcription: ヒキュウチャクセイ ガス ノ シンクウ ハイキ カテイ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ : チョウコウジュンド チッソ ガス ト チョウコウジュンド アルゴン ガス ノ ハイキ カテイ
• Author/Editor: 三木正晴 [著]
• Author Heading: 三木, 正晴 ミキ, マサハル
• Degree Grantor: 総合研究大学院大学
• Date Granted: 平成6年9月20日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 甲第97号
• Degree Type: 博士 (学術)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-Y65
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000291729; http://id.ndl.go.jp/bib/000000291729
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1-1 緒言

1-2 本装置開発の背景

1-3 本装置開発の目的