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目次
論文要旨
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第1章 序論
p1
§1.1 Si系ヘテロ構造デバイス
p1
§1.2 IV族、特にSiGeヘテロ接合デバイス
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コンセイ ソース ブンシセン エピタキシーホウ ニ ヨル SiGe セイチョウ ト SOI コウゾウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 和戸弘幸 [著]
- 著者標目
- 和戸, 弘幸 ワド, ヒロユキ
- 授与機関名
- 豊橋技術科学大学
- 授与年月日
- 平成8年3月22日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1996
- 報告番号
- 甲第158号
- 学位
- 博士 (工学)