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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 集積回路におけるアルミニウム配線技術
p3
1.3 本論文の目的および構成
p19
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシュウセキ カイロ ニ オケル コウシンライセイ ハイセンヨウ アルミニウム ゴウキン ザイリョウ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 河渕靖 [著]
- 著者標目
- 河渕, 靖 コウブチ, ヤスシ
- 授与機関名
- 北海道大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1996
- 報告番号
- 乙第4965号
- 学位
- 博士 (工学)