高集積回路における高信頼性配線用アルミニウム合金材料の開発
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 集積回路におけるアルミニウム配線技術
p3
1.3 本論文の目的および構成
p19
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウシュウセキ カイロ ニ オケル コウシンライセイ ハイセンヨウ アルミニウム ゴウキン ザイリョウ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 河渕靖 [著]
- Author Heading
- 河渕, 靖 コウブチ, ヤスシ
- Degree grantor/type
- 北海道大学
- Date Granted
- 平成8年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第4965号
- Degree Type
- 博士 (工学)