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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Abstract
p1
Contents
p3
1 Introduction
p1
2 Guiding Principles for Control of the Reactive Plsama
p6
2.1 Reaction Process in the Plasma
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 八田章光 [著]
- 著者標目
- 八田, 章光 ハッタ, アキミツ
- 並列タイトル等
- 反応性プラズマの制御とそのダイヤモンド薄膜気相合成への応用に関する研究 ハンノウセイ プラズマ ノ セイギョ ト ソノ ダイヤモンド ハクマク キソウ ゴウセイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成8年3月28日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1996
- 報告番号
- 乙第6935号
- 学位
- 博士 (工学)