Studies on control of reactive plasmas and its application to synthesis of diamond films in vapor phase

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on control of reactive plasmas and its application to synthesis of diamond films in vapor phase
• Author/Editor: 八田章光 [著]
• Author Heading: 八田, 章光 ハッタ, アキミツ
• Alternative Title: 反応性プラズマの制御とそのダイヤモンド薄膜気相合成への応用に関する研究 ハンノウセイ プラズマ ノ セイギョ ト ソノ ダイヤモンド ハクマク キソウ ゴウセイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成8年3月28日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第6935号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-L348
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000298264; http://id.ndl.go.jp/bib/000000298264
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Abstract

Contents

1 Introduction

2 Guiding Principles for Control of the Reactive Plsama

2.1 Reaction Process in the Plasma