In situ optical monitoring and control of metalorganic vapor phase epitaxy

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: In situ optical monitoring and control of metalorganic vapor phase epitaxy
• 著者・編者: 小林康之 [著]
• 著者標目: 小林, 康之 コバヤシ, ヤスユキ
• 並列タイトル等: 有機金属気相成長の光学的その場観察と制御 ユウキ キンゾク キソウ セイチョウ ノ コウガクテキ ソノバ カンサツ ト セイギョ
• 授与機関名: 東京農工大学
• 授与年月日: 平成8年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1996
• 報告番号: 博工乙第20号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-96-M454
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000298907; http://id.ndl.go.jp/bib/000000298907
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1 Introduction

1.1 MBE and MOVPE growth

1.2 In situ monitoring methods

1.3 Surface Photo-Absorption(SPA)