In situ optical monitoring and control of metalorganic vapor phase epitaxy

• Material Type: 博士論文
• Title: In situ optical monitoring and control of metalorganic vapor phase epitaxy
• Author/Editor: 小林康之 [著]
• Author Heading: 小林, 康之 コバヤシ, ヤスユキ
• Alternative Title: 有機金属気相成長の光学的その場観察と制御 ユウキ キンゾク キソウ セイチョウ ノ コウガクテキ ソノバ カンサツ ト セイギョ
• Degree grantor/type: 東京農工大学
• Date Granted: 平成8年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 博工乙第20号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-M454
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000298907; http://id.ndl.go.jp/bib/000000298907
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

1 Introduction

1.1 MBE and MOVPE growth

1.2 In situ monitoring methods

1.3 Surface Photo-Absorption(SPA)