Si基板上へのSi,Ge,PtSiの分子線エピタキシャル成長に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
第2章 研究の背景と目的
p3
2-1 Si基板表面の清浄化と問題点
p4
2-2 サーファクタント効果を利用したSi,GeのMBE成長
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- Si キバンジョウ エ ノ Si , Ge , PtSi ノ ブンシセン エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 熊谷義直 [著]
- 著者標目
- 熊谷, 義直 クマガイ, ヨシナオ
- 授与機関名
- 筑波大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1996
- 報告番号
- 甲第1530号
- 学位
- 博士 (工学)