Development and application of compact electron cyclotron resonance plasma sources
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目次
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Contents
p3
Abstract
p6
Acknowledgments
p9
List of Symbols
p11
List of Abbreviations
p12
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Patrick J. O'Keeffe [著]
- 著者標目
- Patrick J. O'Keeffe パトリック オキーフ
- 並列タイトル等
- コンパクトECRプラズマソースの開発とその応用 コンパクト ECR プラズマ ソース ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ
- 授与機関名
- 埼玉大学
- 授与年月日
- 平成8年9月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第159号
- 学位
- 博士 (工学)