Study on strain-enhanced structural changes in semiconductor epitaxial films
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国立国会図書館デジタルコレクション
資料に関する注記
一般注記:
Contents
1.General Introduction
p1
2.Structural inhomogeneity in strained SiGe films examined by two kinds of stress measurements
p9
2.1.Introduction
2.2.Experimental
p10
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