超微細半導体集積回路製造用反応性イオンエッチングに関する研究
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目次
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-目次-
第1章 序論
p1
1-1 反応性イオンエッチングの研究の置かれた位置
p1
1-2 本研究の目的
p3
参考文献
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チョウビサイ ハンドウタイ シュウセキ カイロ セイゾウヨウ ハンノウセイ イオン エッチング ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 佐藤政明 [著]
- 著者標目
- 佐藤, 政明 サトウ, マサアキ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成8年9月11日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第7029号
- 学位
- 博士 (工学)