超微細半導体集積回路製造用反応性イオンエッチングに関する研究
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-目次-
第1章 序論
p1
1-1 反応性イオンエッチングの研究の置かれた位置
p1
1-2 本研究の目的
p3
参考文献
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- チョウビサイ ハンドウタイ シュウセキ カイロ セイゾウヨウ ハンノウセイ イオン エッチング ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 佐藤政明 [著]
- Author Heading
- 佐藤, 政明 サトウ, マサアキ
- Degree Grantor
- 東北大学
- Date Granted
- 平成8年9月11日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第7029号
- Degree Type
- 博士 (工学)