極清浄雰囲気対応スパッタ装置の開発と作製された薄膜の磁性に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
第1節 本研究の背景
p1
1-1 成膜雰囲気と薄膜の組織制御
p1
1-2 巨大磁気抵抗薄膜
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ゴクセイジョウ フンイキ タイオウ スパッタ ソウチ ノ カイハツ ト サクセイサレタ ハクマク ノ ジセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 奥山健太郎 [著]
- 著者標目
- 奥山, 健太郎 オクヤマ, ケンタロウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成9年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 甲第5990号
- 学位
- 博士 (工学)