極清浄雰囲気対応スパッタ装置の開発と作製された薄膜の磁性に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
第1節 本研究の背景
p1
1-1 成膜雰囲気と薄膜の組織制御
p1
1-2 巨大磁気抵抗薄膜
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ゴクセイジョウ フンイキ タイオウ スパッタ ソウチ ノ カイハツ ト サクセイサレタ ハクマク ノ ジセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 奥山健太郎 [著]
- Author Heading
- 奥山, 健太郎 オクヤマ, ケンタロウ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成9年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 甲第5990号
- Degree Type
- 博士 (工学)