高周波プラズマにおける駆動周波数の役割と負イオンの挙動に関する研究
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p1
第1章 序論
p1
§1-1 プロセスプラズマの現状と今後の動向
p1
§1-2 プロセスプラズマ源としての高周波放電
p5
§1-3 本研究の目的と本論文の構成
p13
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシュウハ プラズマ ニ オケル クドウ シュウハスウ ノ ヤクワリ ト フイオン ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 大津康徳 [著]
- 著者標目
- 大津, 康徳 オオツ, ヤスノリ
- 授与機関名
- 佐賀大学
- 授与年月日
- 平成9年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第5号
- 学位
- 博士 (工学)