高周波プラズマにおける駆動周波数の役割と負イオンの挙動に関する研究
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Table of Contents
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目次
p1
第1章 序論
p1
§1-1 プロセスプラズマの現状と今後の動向
p1
§1-2 プロセスプラズマ源としての高周波放電
p5
§1-3 本研究の目的と本論文の構成
p13
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウシュウハ プラズマ ニ オケル クドウ シュウハスウ ノ ヤクワリ ト フイオン ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 大津康徳 [著]
- Author Heading
- 大津, 康徳 オオツ, ヤスノリ
- Degree Grantor
- 佐賀大学
- Date Granted
- 平成9年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第5号
- Degree Type
- 博士 (工学)