Non-linear processes in cluster ion implantation on solid surfaces

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Non-linear processes in cluster ion implantation on solid surfaces
• 著者・編者: 竹内大輔 [著]
• 著者標目: 竹内, 大輔 タケウチ, ダイスケ
• 並列タイトル等: クラスターイオン注入による非線形表面プロセスに関する研究 クラスター イオン チュウニュウ ニ ヨル ヒセンケイ ヒョウメン プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成9年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 甲第6870号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-H254
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000308655; http://id.ndl.go.jp/bib/000000308655
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

Contents

1 Introduction

1.1 Ion beam processing

1.2 Gas cluster ion beam implantation and research objectives