Non-linear processes in cluster ion implantation on solid surfaces

• Material Type: 博士論文
• Title: Non-linear processes in cluster ion implantation on solid surfaces
• Author/Editor: 竹内大輔 [著]
• Author Heading: 竹内, 大輔 タケウチ, ダイスケ
• Alternative Title: クラスターイオン注入による非線形表面プロセスに関する研究 クラスター イオン チュウニュウ ニ ヨル ヒセンケイ ヒョウメン プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成9年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第6870号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-H254
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000308655; http://id.ndl.go.jp/bib/000000308655
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Contents

1 Introduction

1.1 Ion beam processing

1.2 Gas cluster ion beam implantation and research objectives