半導体GaAs結晶成長ならびにデバイスプロセス誘起格子欠陥の低減化に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
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p1
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 研究の背景
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ハンドウタイ GaAs ケッショウ セイチョウ ナラビニ デバイス プロセス ユウキ コウシ ケッカン ノ テイゲンカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 中西秀男 [著]
- 著者標目
- 中西, 秀男 ナカニシ, ヒデオ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成9年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第9550号
- 学位
- 博士 (工学)