博士論文

半導体GaAs結晶成長ならびにデバイスプロセス誘起格子欠陥の低減化に関する研究

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半導体GaAs結晶成長ならびにデバイスプロセス誘起格子欠陥の低減化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-97-H387
Bibliographic ID of National Diet Library
000000308788
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3123600
Material type
博士論文
Author
中西秀男 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
京都大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 研究の背景

    p2

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ハンドウタイ GaAs ケッショウ セイチョウ ナラビニ デバイス プロセス ユウキ コウシ ケッカン ノ テイゲンカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
中西秀男 [著]
Author Heading
中西, 秀男 ナカニシ, ヒデオ
Degree grantor/type
京都大学
Date Granted
平成9年3月24日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
乙第9550号
Degree Type
博士 (工学)