化学気相成長法によるシランからの多結晶シリコンとアモルファスシリコンの製造反応に関する反応工学的研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 化学気相成長法によるシランからの多結晶シリコンとアモルファスシリコンの製造反応に関する反応工学的研究
• タイトルよみ: カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル シラン カラ ノ タケッショウ シリコン ト アモルファス シリコン ノ セイゾウ ハンノウ ニ カンスル ハンノウ コウガクテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 河瀬元明 [著]
• 著者標目: 河瀬, 元明 カワセ, モトアキ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成9年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第9586号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-H423
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000308824; http://id.ndl.go.jp/bib/000000308824
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

緒論

0.1 化学気相成長法

0.2 熱CVD法による多結晶シリコンの製造