化学気相成長法によるシランからの多結晶シリコンとアモルファスシリコンの製造反応に関する反応工学的研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 化学気相成長法によるシランからの多結晶シリコンとアモルファスシリコンの製造反応に関する反応工学的研究
• Title Transcription: カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル シラン カラ ノ タケッショウ シリコン ト アモルファス シリコン ノ セイゾウ ハンノウ ニ カンスル ハンノウ コウガクテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 河瀬元明 [著]
• Author Heading: 河瀬, 元明 カワセ, モトアキ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成9年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第9586号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-H423
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000308824; http://id.ndl.go.jp/bib/000000308824
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

緒論

0.1 化学気相成長法

0.2 熱CVD法による多結晶シリコンの製造