原子間力顕微鏡によるナノ構造計測とそのデバイス・プロセスへの応用に関する研究
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第一章 序論
p1
1-1 本論文で対象とするメソスコピックデバイスの概略
p1
1-2 本論文で対象とするナノ加工技術の概略
p4
1-3 ナノ構造評価手段としてのAFMの可能性
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ゲンシカンリョク ケンビキョウ ニ ヨル ナノ コウゾウ ケイソク ト ソノ デバイス プロセス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 永瀬雅夫 [著]
- 著者標目
- 永瀬, 雅夫 ナガセ, マサオ
- 授与機関名
- 早稲田大学
- 授与年月日
- 平成9年3月6日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第1271号
- 学位
- 博士 (工学)