原子間力顕微鏡によるナノ構造計測とそのデバイス・プロセスへの応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 原子間力顕微鏡によるナノ構造計測とそのデバイス・プロセスへの応用に関する研究
• Title Transcription: ゲンシカンリョク ケンビキョウ ニ ヨル ナノ コウゾウ ケイソク ト ソノ デバイス プロセス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 永瀬雅夫 [著]
• Author Heading: 永瀬, 雅夫 ナガセ, マサオ
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成9年3月6日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第1271号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-J302
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000309247; http://id.ndl.go.jp/bib/000000309247
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第一章 序論

1-1 本論文で対象とするメソスコピックデバイスの概略

1-2 本論文で対象とするナノ加工技術の概略

1-3 ナノ構造評価手段としてのAFMの可能性