機能性酸化シリコン皮膜の低温形成に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 機能性酸化シリコン皮膜の低温形成に関する研究
• タイトルよみ: キノウセイ サンカ シリコン ヒマク ノ テイオン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 穂積篤 [著]
• 著者標目: 穂積, 篤 ホズミ, アツシ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成9年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 甲第3717号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-N363
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000311447; http://id.ndl.go.jp/bib/000000311447
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1.本研究の背景

1.2.従来研究の概要

1.3.本研究の目的と構成