シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究
• タイトルよみ: シリコン サンカマク ト シリコン チッカマク ノ ダイキボ シュウセキ カイロ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 小林清輝 [著]
• 著者標目: 小林, 清輝 コバヤシ, キヨテル
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成9年3月12日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第5178号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-N485
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000311569; http://id.ndl.go.jp/bib/000000311569
• 整理区分コード: 213

目次

目次

序

第1部 シリコン酸化膜の大規模集積回路への応用に関する研究

第1章 背景-トンネル絶縁膜に対する要求-

参考文献