シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究
• Title Transcription: シリコン サンカマク ト シリコン チッカマク ノ ダイキボ シュウセキ カイロ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 小林清輝 [著]
• Author Heading: 小林, 清輝 コバヤシ, キヨテル
• Degree Grantor: 名古屋大学
• Date Granted: 平成9年3月12日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第5178号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-N485
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000311569; http://id.ndl.go.jp/bib/000000311569
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

序

第1部 シリコン酸化膜の大規模集積回路への応用に関する研究

第1章 背景-トンネル絶縁膜に対する要求-

参考文献