Development of scanning probe microscopy for dimensional metrology
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目次
Abstract
p4
TABLE OF CONTENTS
p6
Chapter I.Introduction
p1
1.1.Industrial requirements for dimensional metrology
p2
1.2.Comparison of various instruments for dimensional metrology
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 藤井透 [著]
- 著者標目
- 藤井, 透 フジイ, トオル
- 並列タイトル等
- 形状計測用走査プローブ顕微鏡の開発 ケイジョウ ケイソクヨウ ソウサ プローブ ケンビキョウ ノ カイハツ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成7年4月14日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 乙第12277号
- 学位
- 博士 (工学)