Studies on surface reactions in Ge chemical vapor deposition
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目次
CONTENTS
p4
Acknowledgments
p2
1.General Introduction
p1
1-1.Chemical Vapor Deposition in Si Semiconductor Processes
p2
1-2.Ge Chemical Vapor Deposition
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 石井仁 [著]
- 著者標目
- 石井, 仁 イシイ, ヒロム
- 並列タイトル等
- ゲルマニウムの化学気相成長における表面反応の研究 ゲルマニウム ノ カガク キソウ セイチョウ ニ オケル ヒョウメン ハンノウ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成8年3月11日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第12737号
- 学位
- 博士 (理学)