シリコン集積回路におけるオーム性接触界面の高信頼化の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: シリコン集積回路におけるオーム性接触界面の高信頼化の研究
• タイトルよみ: シリコン シュウセキ カイロ ニ オケル オームセイ セッショク カイメン ノ コウシンライカ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 武山真弓 [著]
• 著者標目: 武山, 真弓 タケヤマ, マユミ
• 授与機関名: 北海道大学
• 授与年月日: 平成9年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第5227号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-W165
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000315811; http://id.ndl.go.jp/bib/000000315811
• 整理区分コード: 213

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 LSIメタライゼーションにおける集積化に伴う進展と微細化に伴って顕在化した問題点

1.3 本研究の目的

参考文献