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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 LSIメタライゼーションにおける集積化に伴う進展と微細化に伴って顕在化した問題点
p7
1.3 本研究の目的
p14
参考文献
p17
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン シュウセキ カイロ ニ オケル オームセイ セッショク カイメン ノ コウシンライカ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 武山真弓 [著]
- Author Heading
- 武山, 真弓 タケヤマ, マユミ
- Degree grantor/type
- 北海道大学
- Date Granted
- 平成9年9月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第5227号
- Degree Type
- 博士 (工学)