シリコン集積回路におけるオーム性接触界面の高信頼化の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン集積回路におけるオーム性接触界面の高信頼化の研究
• Title Transcription: シリコン シュウセキ カイロ ニ オケル オームセイ セッショク カイメン ノ コウシンライカ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 武山真弓 [著]
• Author Heading: 武山, 真弓 タケヤマ, マユミ
• Degree Grantor: 北海道大学
• Date Granted: 平成9年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第5227号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-W165
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000315811; http://id.ndl.go.jp/bib/000000315811
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 LSIメタライゼーションにおける集積化に伴う進展と微細化に伴って顕在化した問題点

1.3 本研究の目的

参考文献