半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究
• タイトルよみ: ハンドウタイ キバンジョウ エ ノ ジョウユウデンセイ オヨビ キョウユウデンセイ フッカブツ ハクマク ノ ケイセイ ト デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 會澤康治 [著]
• 著者標目: 會澤, 康治 アイザワ, コウジ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成8年11月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1996
• 報告番号: 乙第2963号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-B448
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000318147; http://id.ndl.go.jp/bib/000000318147
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

論文目次

第1章 序論

1-1 はじめに

1-2 常誘電性弗化物膜の化合物半導体デバイスへの応用