半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究
• Title Transcription: ハンドウタイ キバンジョウ エ ノ ジョウユウデンセイ オヨビ キョウユウデンセイ フッカブツ ハクマク ノ ケイセイ ト デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 會澤康治 [著]
• Author Heading: 會澤, 康治 アイザワ, コウジ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成8年11月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第2963号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-B448
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000318147; http://id.ndl.go.jp/bib/000000318147
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

論文目次

第1章 序論

1-1 はじめに

1-2 常誘電性弗化物膜の化合物半導体デバイスへの応用