高集積回路の配線遅延低減を目的とする銅配線プロセスの研究
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論文目録
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p4
第1章 序論
p1
1.1 高集積回路の高性能化と多層配線の課題
p1
1.2 アルミニウム配線の限界
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシュウセキ カイロ ノ ハイセン チエン テイゲン オ モクテキ ト スル ドウ ハイセン プロセス ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 宮崎博史 [著]
- 著者標目
- 宮崎, 博史 ミヤザキ, ヒロシ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成10年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 乙第9825号
- 学位
- 博士 (工学)