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博士論文

高集積回路の配線遅延低減を目的とする銅配線プロセスの研究

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高集積回路の配線遅延低減を目的とする銅配線プロセスの研究

Call No. (NDL)
UT51-98-G424
Bibliographic ID of National Diet Library
000000320841
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3135628
Material type
博士論文
Author
宮崎博史 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
京都大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 論文目録

  • 目次

    p4

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 高集積回路の高性能化と多層配線の課題

    p1

  • 1.2 アルミニウム配線の限界

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
高集積回路の配線遅延低減を目的とする銅配線プロセスの研究
Title Transcription
コウシュウセキ カイロ ノ ハイセン チエン テイゲン オ モクテキ ト スル ドウ ハイセン プロセス ノ ケンキュウ
Author/Editor
宮崎博史 [著]
Author Heading
宮崎, 博史 ミヤザキ, ヒロシ
Degree grantor/type
京都大学
Date Granted
平成10年3月23日
Date Granted (W3CDTF)
1998
Dissertation Number
乙第9825号
Degree Type
博士 (工学)