微細MOSFETの製造技術とデバイス特性の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 微細MOSFETの製造技術とデバイス特性の研究
• タイトルよみ: ビサイ MOSFET ノ セイゾウ ギジュツ ト デバイス トクセイ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 小林敏夫 [著]
• 著者標目: 小林, 敏夫 コバヤシ, トシオ
• 授与機関名: 早稲田大学
• 授与年月日: 平成9年6月19日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第1294号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-J385
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000321904; http://id.ndl.go.jp/bib/000000321904
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1-1 研究の背景

1-2 本研究の位置づけ

1-3 論文の構成