シリコン基板上へのチタン酸ビスマス薄膜の形成と評価に関する研究
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 強誘電体薄膜メモリ
p6
1.3 酸化物強誘電体薄膜
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン キバンジョウ エ ノ チタンサン ビスマス ハクマク ノ ケイセイ ト ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 山口正樹 [著]
- 著者標目
- 山口, 正樹 ヤマグチ, マサキ
- 授与機関名
- 芝浦工業大学
- 授与年月日
- 平成10年3月18日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 甲第4号
- 学位
- 博士 (工学)