Studies on the development and application of permanent magnet electron cyclotron resonance plasma sources

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on the development and application of permanent magnet electron cyclotron resonance plasma sources
• 著者・編者: 田昭治 [著]
• 著者標目: 田, 昭治 デン, ショウジ
• 並列タイトル等: 永久磁石を用いた電子サイクロトロン共鳴プラズマ源の開発と応用に関する研究 エイキュウ ジシャク オ モチイタ デンシ サイクロトロン キョウメイ プラズマゲン ノ カイハツ ト オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成10年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1998
• 報告番号: 甲第4056号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-L417
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000323032; http://id.ndl.go.jp/bib/000000323032
• 整理区分コード: 213

目次

TABLE OF CONTENTS

Chapter 1.Introduction

1.1 Low-pressure High-density Plasma Processing

1.2 Problems in Previous Studies on ECR Plasma Processing

1.3 Purpose and Composition of This Work