Studies on the development and application of permanent magnet electron cyclotron resonance plasma sources

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on the development and application of permanent magnet electron cyclotron resonance plasma sources
• Author/Editor: 田昭治 [著]
• Author Heading: 田, 昭治 デン, ショウジ
• Alternative Title: 永久磁石を用いた電子サイクロトロン共鳴プラズマ源の開発と応用に関する研究 エイキュウ ジシャク オ モチイタ デンシ サイクロトロン キョウメイ プラズマゲン ノ カイハツ ト オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成10年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 甲第4056号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-L417
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000323032; http://id.ndl.go.jp/bib/000000323032
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

TABLE OF CONTENTS

Chapter 1.Introduction

1.1 Low-pressure High-density Plasma Processing

1.2 Problems in Previous Studies on ECR Plasma Processing

1.3 Purpose and Composition of This Work