Studies on oscillation mechanism of discharge-pumped ArF excimer laser with laser diagnostic techniques

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on oscillation mechanism of discharge-pumped ArF excimer laser with laser diagnostic techniques
• 著者・編者: 永井伸治 [著]
• 著者標目: 永井, 伸治 ナガイ, シンジ
• 並列タイトル等: レーザ診断技術を用いた放電励起ArFエキシマレーザの発振機構に関する研究 レーザ シンダン ギジュツ オ モチイタ ホウデン レイキ ArF エキシマ レーザ ノ ハッシン キコウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成10年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1998
• 報告番号: 甲第4057号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-L418
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000323033; http://id.ndl.go.jp/bib/000000323033
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1.Introduction

1.1 Discharge-Pumped ArF Excimer Lasers

1.2 Progress of the Studies for the Oscillation Mechanism of the Discharge-Pumped ArF Excimer Lasers

1.3 Purpose and Composition of This Thesis